金属蒸着法
Sputter coating with heavy metal
試料の帯電(=チャージアップ)を防止し、二次電子の発生効率を増大させるため、試料の表面を白金などの金属でコーティングします。
イオンスパッター装置
乾燥した試料をマウントした試料台をチャンバーに設置します
コーティングする金属膜の厚さなどを設定します
設定に従って一定時間、金属が蒸着されます
蒸着前後の試料を比較
走査型電顕:二次電子撮像用試料作製
Preparation for SEM (Secondary Electron)
宮崎大学医学部解剖学講座 超微形態科学分野
Department of Anatomy, Ultrastructural Cell Biology
Faculty of Medicine, University of Miyazaki
金属蒸着法
Sputter coating with heavy metal
試料の帯電(=チャージアップ)を防止し、二次電子の発生効率を増大させるため、試料の表面を白金などの金属でコーティングします。
イオンスパッター装置
乾燥した試料をマウントした試料台をチャンバーに設置します
コーティングする金属膜の厚さなどを設定します
設定に従って一定時間、金属が蒸着されます
蒸着前後の試料を比較